ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ କ୍ରମଶଃ କଠୋର "ଶୂନ୍ୟ-ତ୍ରୁଟି" ଆବଶ୍ୟକତାର ପୃଷ୍ଠଭୂମିରେ, ଲିଜି 9-ଇଞ୍ଚ କମ୍-କ୍ଲୋରିନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଲ୍ ଗ୍ଲୋଭ୍ସ ସେମାନଙ୍କର ଅସାଧାରଣ କମ୍ ଆୟନିୟ ଅବଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ପରିଷ୍କାର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଯୋଗୁଁ ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଏବଂ ଚିପ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ସୁରକ୍ଷା ଉପକରଣ ପାଲଟିଛି। ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ମାଧ୍ୟମରେ, ଗ୍ଲୋଭର କ୍ଲୋରିନ୍ ପରିମାଣ ≤50ppm ରେ କଠୋର ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୋଇଥାଏ - ଯାହା 100ppm ର ଶିଳ୍ପ ମାନଦଣ୍ଡକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ଅତିକ୍ରମ କରେ। ଏହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଆୟନ୍ ସ୍ଥାନାନ୍ତରଣ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହେଉଥିବା କ୍ଷୟ ବିପଦକୁ ରୋକିଥାଏ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନର ଅଣୁବୀକ୍ଷଣିକ ପ୍ରଦୂଷଣ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିଥାଏ।
ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ଗ୍ଲୋଭ୍ ସଫାସୁତୁରା ସିଧାସଳଖ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ଆବରଣ ସଠିକତା ଏବଂ ଏକ୍ସପୋଜର ଫଳାଫଳକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ଶ୍ରେଣୀ 100,000 କ୍ଲିନରୁମରେ ନିର୍ମିତ ଏବଂ ଲେଜର ଧୂଳି ଅପସାରଣର ଶିକାର ହୋଇଥିବା ଏହି ଉତ୍ପାଦ 0.2 କଣିକା/ବର୍ଗ ଇଞ୍ଚ ତଳେ ପୃଷ୍ଠ କଣିକା ନିର୍ଗମନ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ - ISO ଶ୍ରେଣୀ 3 କ୍ଲିନରୁମ ମାନଦଣ୍ଡ ପୂରଣ କରେ। ଏହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ ସୂକ୍ଷ୍ମ କଣିକା ଆସନକୁ ରୋକିଥାଏ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ତ୍ରୁଟି ହ୍ରାସ କରିଥାଏ। 9-ଇଞ୍ଚ ଲମ୍ବ ଡିଜାଇନ୍ କଣ୍ଠାରୁ ପାମ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପୂର୍ଣ୍ଣ କଭରେଜ୍ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଏକ ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ କଫ୍ ଗଠନ ସହିତ ମିଳିତ ଭାବରେ, ଏହା କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ନମନୀୟତା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେତେବେଳେ ସ୍ଲିଭ୍ ଓପନିଂରେ ଧୂଳି ଝଡ଼ିବାକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ରୋକିଥାଏ, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଗତିଶୀଳ ସଫା ପରିବେଶ ପାଇଁ କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିଥାଏ।
ଏଚିଂ ଏବଂ ଆୟନ୍ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟେସନ୍ ଭଳି ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ଷୟକାରୀ ରିଏଜେଣ୍ଟ ସହିତ ଜଡିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ଏହି ଗ୍ଲୋଭ୍ସ ଅସାଧାରଣ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ। ହାଇଡ୍ରୋଫ୍ଲୋରିକ୍ ଏସିଡ୍ ଏବଂ ଫସଫୋରିକ ଏସିଡ୍ ଭଳି ସାଧାରଣ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ରିଏଜେଣ୍ଟରେ 24 ଘଣ୍ଟା ନିମଜ୍ଜିତ ପରୀକ୍ଷଣ ପରେ, ଏଗୁଡ଼ିକ କୌଣସି ଫୁଲା କିମ୍ବା ଫାଟିବା ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ ନାହିଁ, 0.8% କମ୍ ଓଜନ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହାର ସହିତ। ଏହା ଅପରେଟରମାନଙ୍କ ପାଇଁ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ହାତ ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରଦାନ କରେ ଯେତେବେଳେ ଗ୍ଲୋଭ୍ କ୍ଷତିରୁ ରିଏଜେଣ୍ଟ ପ୍ରଦୂଷଣ ବିପଦକୁ ଦୂର କରେ। ଆଙ୍ଗୁଠି ଟିପରେ 0.02mm ଲେଜର-ଖୋଦା ହୋଇଥିବା ଆଣ୍ଟି-ସ୍ଲିପ୍ ଟେକ୍ସଚର ରହିଛି, ଯାହା 12-ଇଞ୍ଚ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ପରିଚାଳନା କରିବା ସମୟରେ ଘର୍ଷଣ 35% ବୃଦ୍ଧି କରେ ଏବଂ ୱେଫର ସ୍ଲିପେଜ୍ ବିପଦ 60% ହ୍ରାସ କରେ। ଏହା ସୁରକ୍ଷା ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ସ୍ଥିରତା ମଧ୍ୟରେ ଏକ ସନ୍ତୁଳନ ହାସଲ କରେ।
ବର୍ତ୍ତମାନ SEMI F57 ମାନଦଣ୍ଡ ଅନୁଯାୟୀ ପ୍ରମାଣିତ, ଏହି ଗ୍ଲୋଭ୍ସଗୁଡ଼ିକ SMIC ଏବଂ Hua Hong ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସମେତ ପ୍ରମୁଖ ଫାଉଣ୍ଡ୍ରିଗୁଡ଼ିକରେ ବହୁଳ ଉତ୍ପାଦନ ଲାଇନ୍ରେ ନିୟୋଜିତ ହୋଇଛି। ଏଗୁଡ଼ିକ ହାତ ସମ୍ପର୍କ ଯୋଗୁଁ ହେଉଥିବା ୱେଫର ସ୍କ୍ରାପ୍ ହାରକୁ 38% ହ୍ରାସ କରିଥାଏ, କ୍ଲିନରୁମ୍ ସୁରକ୍ଷା ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଦକ୍ଷତାକୁ ସନ୍ତୁଳିତ କରିବା ପାଇଁ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାଣରେ ନିଜକୁ ଆଦର୍ଶ ପସନ୍ଦ ଭାବରେ ପ୍ରତିଷ୍ଠିତ କରିଥାଏ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ନଭେମ୍ବର-୧୧-୨୦୨୫